5月23日，商务部新闻发言人就日本正式出台半导体制造设备出口管制措施事答记者问。商务部回应称，日本政府正式出台针对23种半导体制造设备的出口管制措施，这是对出口管制措施的滥用，是对自由贸易和国际经贸规则的严重背离，中方对此坚决反对。
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申万宏源表示，2021年全球半导体设备销售数据排名前15，日本厂商占据7家，此次限制出口涉及芯片的清洗、光刻、蚀刻以及检测等。预计受到扩大出口限制政策影响最显著的是东京电子（全球第三大半导体设备商、涂胶显影设备全球市占率约90%）和尼康（全球第二大DUV光刻机制造商），同时包括迪恩士（清洗设备龙头）和爱德万（测试设备龙头）。
其进一步分析称，成熟制程领域，国产半导体设备已展现出较强的竞争力、获得下游晶圆厂商认可，且受日本限制出口尖端设备影响较小；先进制程领域，当前产品正处于验证密集通过、逐步量产化规模化的非线性成长阶段。
中信证券指出，从上下游路径看，半导体产业链遵循“芯片需求-晶圆代工-半导体耗材”的传导链条；远期看，AI、ChatGPT等技术发展对算力、存储的需求将向上游传导。在国产化趋势下，设备零部件材料及半导体材料有望先后迎接放量机会。
公司方面，申万宏源表示，主要包括：
芯源微（国内涂胶显影机龙头）；
中微公司（刻蚀设备龙头）；
北方华创（刻蚀、薄膜沉积、清洗等）；
盛美上海、至纯科技（清洗设备）；
拓荆科技（国内薄膜沉积设备龙头）；
长川科技、华峰测控（测试设备）；
江化微、上海新阳、容大感光（半导体材料）。
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